綠色貿易資訊網

綠動台灣 貿易無限-提升綠色貿易競爭力

2017-2018 產品型錄下載

您在這裡

首頁
含洩漏檢知感應器之磁流體軸封
產品環境效益說明
在磁流體軸封的大氣端加裝洩漏檢知器,在軸封的密封功能失去一半後,即以物理或電子方式發出訊號,通知使用者,以排定於主設備週期性維修時,一併更換,避免過早更換的浪費,或來不及更換而衍生的產品損失。
產品效能
磁流體軸封 (Rotary Magnetic Feedthrough)為真空製程設備,如濺鍍設備(Sputtering equipment)等的關鍵零組件,若失去功能會造成製程異常,或設備內的基材搬送異常。目前一種維修方式為定期更換,但因製程上的差異,無法定出明確週期,因而可能造成軸封過早下機的浪費;另一種模式為持續跑貨到軸封失效,但失效同時會造成主設備當機,或製程異常,造成更多的基材或製程片浪費。 目前在磁流體軸封的大氣端加裝洩漏檢知器,在軸封的密封功能失去一半後,即以物理或電子方式發出訊號,通知使用者,以排定於主設備週期性維修時,一併更換,避免過早更換的浪費,或來不及更換而衍生的產品損失
應用奈米科技股份有限公司
銷售區域
台灣、中國大陸、美國、新加坡、東南亞
產品型號
DXS0030WMR00001
產品分類
精密儀器
環保特性
綠色標章
GTPO輔導廠商
.